方法

X射线电子能谱(XPS)

俄歇电子能谱

(AES)

X射线荧光光谱(XRF)

X射线能谱

(EDS)

方法概述

表面成分的超微量和痕量检测方法。

进行成分的深度剖析、薄膜及界面分析。

固体、液体、粉末测试。

对材料微区进行元素种类与含量测定，配合扫描电镜使用。

检测灵敏度

10-2-10-3

10-2-10-3

>10-2

>10-2

应用特点

无损检测，可作为定量分析

可分析HHe以外的所有元素，对样品表面要求较高，可作为定量分析。

测试Z=0-80的所有元素，含量ppm级-100%。同时可以测量外延层晶格参数。

只能测Z>11的元素,准确性较低

测试方法

适用条件

扫描电子显微镜（SEM）/场发射扫描电子显微镜

薄膜表面断面形貌分析, 填料分散状态复合材料结构, 材料晶型分析晶粒大小,材料物相分析。结合EDS进行元素定性分析。

透射电镜（TEM）

透射电镜可以表征样品的质厚衬度，也可以表征样品的内部晶格结构，获得高倍放大倍数的电子图像；得到电子衍射花样。

扫描隧道显微镜（STM）

扫描隧道显微镜作为一种扫描探针显微术工具，扫描隧道显微镜可以让科学家观察和定位单个原子，它具有比它的同类原子力显微镜更加高的分辨率。此外，扫描隧道显微镜在低温下（4K）可以利用探针尖端

原子力显微镜（AFM）

AFM提供真正的三维表面图，AFM不需要对样品的任何特殊处理。