【仪器简介】

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的入射电子轰击物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征x射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时，也可产生电子-空穴对、晶格振动 （声子）、电子振荡 （等离子体）。原则上讲，利用电子和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。

聚光镜：可变焦聚光镜 物镜：超级锥形物鏡 物镜光闌：3档，X-Y可细调

电位移：±50微米 自动功能：聚焦，亮度，衬度，消像散

最大样品：直径：150mm 样品交换：抽拉式样品台

真空系统：全自动扩散泵DP。分子泵TMP.

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